Messmodi der Rasterkraftmikroskopie

Hauptanwendungsgebiet:  Bestimmung der Topographie

 

  • Statischer Modus (Contact Mode)
     
  • Dynamischer Modus (Tapping Mode)
    (f»300kHz)
REM-Aufnahmen einer Contact Mode Spitze
a) Biegebalken mit Si3N4-Pyramide
b) Si3N4-Pyramide
REM-Aufnahmen einer Tapping Mode Spitze
c) Position im Spitzenhalter
d) Si-Pyramide am Biegebalken